近日，國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)信息學(xué)部在長(zhǎng)春組織專家對(duì)國(guó)家自然科學(xué)基金國(guó)家重大科研儀器設(shè)備研制專項(xiàng)“1.5米掃描干涉場(chǎng)曝光系統(tǒng)”進(jìn)行了項(xiàng)目驗(yàn)收。

會(huì)議成立了由中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院李天初院士擔(dān)任組長(zhǎng)的驗(yàn)收專家組，下設(shè)儀器測(cè)試專家小組，技術(shù)檔案專家小組和財(cái)務(wù)專家小組,。8月24日，驗(yàn)收專家組開展了儀器現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，并進(jìn)行了技術(shù)檔案和財(cái)務(wù)驗(yàn)收工作,。

8月25日，國(guó)家自然科學(xué)基金委信息科學(xué)部常務(wù)副主任張兆田主持了項(xiàng)目的驗(yàn)收評(píng)審會(huì),。國(guó)家自然科學(xué)基金委副主任王承文,，項(xiàng)目依托單位長(zhǎng)春光機(jī)所所長(zhǎng)賈平，中科院條件保障與財(cái)務(wù)局局長(zhǎng)鄭曉年分別致辭,，肯定了項(xiàng)目組“十年磨一劍”攻堅(jiān)克難的精神和兢兢業(yè)業(yè)的付出,，強(qiáng)調(diào)了儀器設(shè)備在科學(xué)研究、技術(shù)創(chuàng)新以及科技強(qiáng)國(guó)建設(shè)中的重要地位,，并希望長(zhǎng)春光機(jī)所充分發(fā)揮好國(guó)家重大科研儀器設(shè)備的重要作用,。

專家組聽取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人巴音賀希格研究員的研制項(xiàng)目工作報(bào)告，項(xiàng)目監(jiān)理組朱文彬研究員的項(xiàng)目監(jiān)理報(bào)告,，驗(yàn)收專家組副組長(zhǎng)唐玉國(guó)研究員的儀器技術(shù)測(cè)試報(bào)告,，技術(shù)檔案專家小組組長(zhǎng)石慧敏教授的檔案驗(yàn)收意見報(bào)告和財(cái)務(wù)驗(yàn)收專家小組組長(zhǎng)高蓮高級(jí)會(huì)計(jì)師的財(cái)務(wù)驗(yàn)收意見報(bào)告。驗(yàn)收專家組對(duì)儀器技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)實(shí)地考察和儀器測(cè)試,對(duì)項(xiàng)目技術(shù)文件檔案及歸檔情況,、相關(guān)賬務(wù)報(bào)告等進(jìn)行了審核,。經(jīng)質(zhì)詢和討論，一致同意項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收,。

專家組認(rèn)為,，項(xiàng)目組全面完成了項(xiàng)目的研制任務(wù)，成功研制出1.5米掃描干涉場(chǎng)曝光系統(tǒng),，該儀器的各項(xiàng)工作性能均達(dá)到或超過(guò)了任務(wù)書指標(biāo),；項(xiàng)目管理文件和技術(shù)文檔記錄全面，內(nèi)容真實(shí)可靠,，檔案立卷符合規(guī)范要求,；項(xiàng)目資金使用符合管理辦法要求；項(xiàng)目執(zhí)行期間，圍繞單體大尺寸全息光柵制作的一系列核心物理和技術(shù)問題開展前沿探索和技術(shù)攻關(guān),，取得了系列重要研究成果,、技術(shù)創(chuàng)新和突破。

專項(xiàng)研制的儀器設(shè)備包括一臺(tái)1.5米掃描干涉場(chǎng)曝光系統(tǒng)及四臺(tái)制作全息光柵所需的輔助工藝設(shè)備,。該項(xiàng)目主要面向高能拍瓦激光輸出技術(shù),、激光慣性約束核聚變研究及高端光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)等戰(zhàn)略高科技領(lǐng)域?qū)Υ竺娣e全息光柵的迫切需求，研制了1.5米掃描干涉場(chǎng)曝光系統(tǒng),，其目標(biāo)是具備以步進(jìn)掃描多線曝光方式制作500mm×1500mm全息光柵的能力,。經(jīng)過(guò)7年的攻關(guān)，項(xiàng)目組通過(guò)解決和突破長(zhǎng)程重載工作臺(tái)超精密定位,、曝光干涉場(chǎng)超精密測(cè)量及相位鎖定等十幾項(xiàng)基礎(chǔ)問題和關(guān)鍵技術(shù),，研制出了擁有制作最大面積650mm×1700mm單體無(wú)拼縫全息光柵能力的掃描干涉場(chǎng)曝光系統(tǒng)。該項(xiàng)目的順利實(shí)施與驗(yàn)收,，標(biāo)志著我國(guó)具備了獨(dú)立制作米級(jí)單體無(wú)拼縫全息光柵的能力,，打破了由國(guó)外長(zhǎng)期壟斷的局面，對(duì)高能激光,、可控核聚變,、高端光刻等領(lǐng)域的技術(shù)與產(chǎn)業(yè)推進(jìn)具有重大的戰(zhàn)略意義。

驗(yàn)收會(huì)上,，與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)和項(xiàng)目驗(yàn)收專家組肯定了項(xiàng)目組在大型科研儀器研制方面取得的豐碩成果,，并表示該儀器多項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人巴音賀希格表示,，項(xiàng)目的驗(yàn)收是一個(gè)新的起點(diǎn),，項(xiàng)目組會(huì)繼續(xù)刻苦鉆研、攻堅(jiān)克難,，不斷推進(jìn)項(xiàng)目的科技成果轉(zhuǎn)化，為國(guó)家科技進(jìn)步和相關(guān)領(lǐng)域事業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量,。

來(lái)源：中國(guó)科學(xué)報(bào)