干式螺桿真空泵，它利用一對螺桿,，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,。它的優(yōu)勢彌補了油封式真空泵的不足，我們都稱之為油封式真空泵的升級版,。但是干式螺桿真空泵的造價也是它的不足之處,。接下來主要介紹它的優(yōu)點和缺點：

　　干式螺桿真空泵優(yōu)點：

　　1、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層,，可適應(yīng)惡劣工況2,、氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體

　　3,、不耗油,無滴漏

　　4,、結(jié)構(gòu)簡單，維護方便,。

　　5,、被抽氣體直接排出泵體，不污染水,，無環(huán)保壓力,，氣體回收更便捷。

　　干式螺桿真空泵缺點：

　　1,、由于螺桿泵加工難度大,，我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴,。

　　2,、不適于抽除含有爆炸性的氣體。

　　3,、不適于抽除含氧過高的氣體,。

　　隨著我國工業(yè)界的發(fā)展,，在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示器等工藝制造中,，對清潔真空環(huán)境的要求越來越高,，而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬,、結(jié)構(gòu)簡單緊湊,、抽氣腔元件無摩擦、壽命長,、能耗低,、無油污染等優(yōu)點，得到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視,，在干式真空泵市場中占有重要的地位,。在歐美和日本等發(fā)達國家，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵,。

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