中科九微“MTP系列磁懸浮復合分子泵”入選北京市2024年重大技術裝備目錄

2025-01-16 19:25:24 sunmedia 474

近日,，中科九微研發(fā)的“MTP系列磁懸浮復合分子泵”成功入選北京市2024年首臺（套）重大技術裝備目錄（半導體領域）,。這一突破不僅標志著中科九微在半導體真空技術領域的創(chuàng)新進展,，也彰顯了公司在自主研發(fā)和技術創(chuàng)新方面的強大實力,。

“MTP系列磁懸浮復合分子泵”是中科九微在承擔國家重大攻關項目過程中,，憑借自主技術研發(fā)成果取得的重要設備之一,。這款設備在半導體制造過程中扮演著至關重要的角色,，其成功研發(fā)和廣泛應用,，將大大增強我國半導體產(chǎn)業(yè)的自主可控能力,，為半導體產(chǎn)業(yè)向更高端,、智能、綠色的方向發(fā)展提供有力支持,。

該系列泵的設計特點包括一體化結(jié)構(gòu),、任意角度安裝、低噪音,、潔凈無油,、免維護等優(yōu)點。它還配備了可調(diào)轉(zhuǎn)速,、集成智能管理系統(tǒng),、斷電自動保護、沖擊預警,、故障診斷,、溫度管理等多種先進功能，且支持多種通訊方式，為半導體行業(yè)的生產(chǎn)工藝提供了更高的效率和更安全的保障,。

通過這項技術的推廣應用,，MTP系列磁懸浮復合分子泵不僅填補了國內(nèi)在該領域的技術空白，還進一步推動了我國半導體產(chǎn)業(yè)向技術自主和智能化升級的目標邁進,，為中國半導體行業(yè)在全球競爭中占據(jù)更有利的地位提供了強有力的技術支持,。

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