近日，中科富海旗下控股子公司安徽中科昊海氣體科技有限公司投資建設(shè)的氪氙精制裝置一次開車成功,，產(chǎn)出的氪氣,、氙氣純度99.9999%以上,，均高于國標(biāo)高純氪氙標(biāo)準(zhǔn),。

安徽中科昊海氣體科技有限公司成立于2019年1月,，位于安徽省阜陽市潁東區(qū),，主要投資建設(shè)高純特種電子氣體項目和高端綠色氫能項目,。其中高純特種電子氣體項目首期工程建設(shè)一套20Nm3/h氖氦精制裝置和一套400Nm3/h氪氙精制裝置。其中,，氖氦精制裝置于2020年底完成安裝,，3月調(diào)試一次開車成功，氦氖產(chǎn)品純度99.9999%,；氪氙精制裝置于2021年初完成安裝,，日前一次調(diào)試成功，產(chǎn)出氪氙產(chǎn)品純度99.9999%,。至此,，中科富海氖氦氪氙精制裝置已全部實現(xiàn)成功投產(chǎn)，助力半導(dǎo)體等高精尖產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,。

中科富海首次采用自主研發(fā),、獨立設(shè)計、成功集成氦氖氪氙精制裝置,。該裝置采用整體撬裝式結(jié)構(gòu),，所有組件在工廠內(nèi)一次整體安裝完畢，并經(jīng)嚴(yán)格檢漏后出廠,，大大減少現(xiàn)場施工量,，有效保證產(chǎn)品制造質(zhì)量。

氦氖氪氙裝置的成功投產(chǎn),，成為中科富海在稀有氣體領(lǐng)域的重大突破與重要里程碑,，將滿足我國航天、醫(yī)學(xué),、電子,、暗物質(zhì)研究等領(lǐng)域應(yīng)用發(fā)展需求。（氣體分離）

來源：CGMA