新松擬募資18億新建半導(dǎo)體設(shè)備及系統(tǒng)項(xiàng)目

2020-08-22 11:45:38 sunmedia 1322


作為第一家國(guó)產(chǎn)機(jī)器人實(shí)現(xiàn)出口的企業(yè),,機(jī)器人(300024.SZ)一直在工業(yè)自動(dòng)化,、數(shù)字化上承擔(dān)著引領(lǐng)國(guó)產(chǎn)自動(dòng)化設(shè)備及系統(tǒng)創(chuàng)新的角色,。

8月19日,,機(jī)器人公布擬募資18.03億元主要用于建設(shè)半導(dǎo)體領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備及自動(dòng)化項(xiàng)目,作為國(guó)內(nèi)唯一一家真空機(jī)械手的供應(yīng)商,,去年機(jī)器人真空機(jī)械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng),、中科院微電子研究所等企業(yè)和機(jī)構(gòu),有望在國(guó)內(nèi)全面推廣,。

機(jī)器人2009年上市,,通過(guò)融資不斷擴(kuò)大工業(yè)機(jī)器人、特種機(jī)器人,、高端裝備,、數(shù)字化工廠等領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)規(guī)模,此次募資將以自身自動(dòng)化設(shè)備優(yōu)勢(shì)來(lái)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化的替代,。

擬募資18億新建半導(dǎo)體設(shè)備

機(jī)器人此次擬向特定對(duì)象發(fā)行股票的募集資金總額不超過(guò)18.03億元用于IC真空機(jī)械手及集束型設(shè)備項(xiàng)目,、半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)項(xiàng)目、半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金,。

此前機(jī)器人已研制了系列化潔凈真空機(jī)器人產(chǎn)品,,包括大氣機(jī)械手系列產(chǎn)品(潔凈度達(dá)到 Class1),、集成電路裝備真空機(jī)械手系列產(chǎn)品(真空度達(dá)到最高 1×10-6 Pa),。真空直驅(qū)機(jī)器人打破國(guó)外壟斷,可以實(shí)現(xiàn)直接替代,;自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)系統(tǒng)設(shè)備主要包括潔凈存儲(chǔ)系統(tǒng)(Stocker),、 潔凈軌道系統(tǒng)、空中無(wú)人搬運(yùn)車(chē)(OHT)等,,公示可以為半導(dǎo)體工廠提供整套自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng),;而公司承接的廣州超視堺Mask搬送系統(tǒng)項(xiàng)目,其中也包含ACS系統(tǒng)(類似MCS的系統(tǒng),,規(guī)模要比MCS系統(tǒng)規(guī)模小)的子訂單,,具有先天優(yōu)勢(shì),。

上述三個(gè)項(xiàng)目建成后,年預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年均營(yíng)業(yè)收入約10.05億元,、11.90億元,、1.8億元,合計(jì)達(dá)到23.75億元,。而去年公司全年?duì)I收27.45億元,,此次擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目若達(dá)成目標(biāo)將增加營(yíng)收85%。

機(jī)器人將半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)確定為三大業(yè)務(wù)板塊之一,,2018年5月,,公司集中整合資源成立半導(dǎo)體裝備事業(yè)部,完善在集成電路設(shè)備自動(dòng)化與自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)產(chǎn)業(yè)的布局,,潔凈真空機(jī)器人,、潔凈自動(dòng)化裝備、自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)是公司自主研發(fā)的面向集成電路行業(yè)高端的成套裝備,,半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)(MCS)產(chǎn)業(yè)化是公司拓展的新業(yè)務(wù),。

目前機(jī)器人研發(fā)的真空機(jī)械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)、中科院微電子研究所等企業(yè),。集束型設(shè)備行業(yè)應(yīng)用涵蓋半導(dǎo)體 CMP 清洗設(shè)備,、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、半導(dǎo)體涂膠設(shè)備等,,且實(shí)現(xiàn)小批量示范應(yīng)用,;半導(dǎo)體自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)在上海集成電路研發(fā)中心生產(chǎn)線上的應(yīng)用,并成功應(yīng)用于Sandisk,、賽意法等半導(dǎo)體芯片加工廠,,面向面板制造廠開(kāi)發(fā)的掩模版自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng),已經(jīng)在華星光電T1,、T7工廠及夏普廣州廠實(shí)現(xiàn)成熟應(yīng)用,。

2012年以來(lái),國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求迅猛增長(zhǎng),,中國(guó)是全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng),,2018年達(dá)到131.10億美元,但國(guó)產(chǎn)設(shè)備自給率很低,,僅為13%左右,。未來(lái)即便核心半導(dǎo)體設(shè)備依然依靠進(jìn)口,半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化空間仍然巨大,。并且半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化對(duì)工廠的稼動(dòng)率非常重要,,全球該市場(chǎng)的年采購(gòu)額在20億美金左右,由于國(guó)外對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的封鎖,,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)于自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)需求迫切,。

而機(jī)器人是國(guó)內(nèi)唯一一家真空機(jī)械手的供應(yīng)商,,而公司自主研發(fā)的面向半導(dǎo)體行業(yè)的高端裝備自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)已經(jīng)形成了獨(dú)立產(chǎn)品線,可以逐步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代,。

大力研發(fā)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體領(lǐng)域多項(xiàng)突破

機(jī)器人從事的主要業(yè)務(wù)為機(jī)器人及數(shù)字化工廠解決方案,,主營(yíng)業(yè)務(wù)包括機(jī)器人業(yè)務(wù)、數(shù)字化工廠業(yè)務(wù),、工業(yè)軟件與控制平臺(tái),、半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)。

近年來(lái)機(jī)器人連續(xù)承擔(dān)國(guó)家863重點(diǎn)項(xiàng)目,、十二五智能制造發(fā)展專項(xiàng)項(xiàng)目,、十二五國(guó)家科技支撐計(jì)劃課題、十三五國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃,、科技部02專項(xiàng)項(xiàng)目,、工信部研發(fā)項(xiàng)目、發(fā)改委研發(fā)項(xiàng)目等,。

僅去年機(jī)器人研發(fā)投入4.58億元,,同比增長(zhǎng)134.91%,占到了營(yíng)收16.67%,,截至2019年底,,公司合計(jì)擁有109項(xiàng)軟件著作權(quán)和有效專利377項(xiàng),其中發(fā)明專利193件,,實(shí)用新型專利103件,。

去年機(jī)器人在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了多項(xiàng)突破。去年真空機(jī)械手產(chǎn)品需求增加,,公司潔凈機(jī)器人系列產(chǎn)品持續(xù)批量銷售,,搶占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的主要份額,公司EFEM部分型號(hào)產(chǎn)品已獲得批量訂單,,標(biāo)志公司在高端半導(dǎo)體刻蝕機(jī)及其工藝技術(shù)領(lǐng)域開(kāi)始實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化批量供應(yīng),。公司8寸和12寸真空平臺(tái)已經(jīng)交付客戶進(jìn)行驗(yàn)證;憑借自主研制的國(guó)內(nèi)首套柔性O(shè)LED潔凈機(jī)器人成功進(jìn)入高端柔性屏幕生產(chǎn)線,,且于年底前完成首臺(tái)交付,。

去年機(jī)器人物流與倉(cāng)儲(chǔ)自動(dòng)化成套裝備、工業(yè)機(jī)器人營(yíng)收分別為10.60億元,、9.72億元,,分別同比增長(zhǎng)9.28%,、3.92%,,不過(guò)由于自動(dòng)化裝配與檢測(cè)生產(chǎn)線及系統(tǒng)集成有所下滑,公司營(yíng)收下降了11.29%,。

根據(jù)中投產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2020-2024 年中國(guó)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)投資分析及前景預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示,,2019年度全國(guó)工業(yè)機(jī)器人累計(jì)產(chǎn)量為18.69萬(wàn)套,,同比降低了6.1%。而2019年上半年自主品牌工業(yè)機(jī)器人累計(jì)銷售1.9萬(wàn)臺(tái),,同比下降13.6%,。

機(jī)器人作為目前國(guó)內(nèi)唯一批量生產(chǎn)潔凈機(jī)器人及自動(dòng)化設(shè)備的供應(yīng)商,在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體自動(dòng)化領(lǐng)域有研發(fā)優(yōu)勢(shì),,在目前半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中,,公司產(chǎn)品或有望在國(guó)內(nèi)全面推廣。

長(zhǎng)江商報(bào)
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