IC裝備是《國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃綱要(2006—2020年)》確定的16個國家重大科技專項之一。實施國家重大專項,，是將沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)納入國家戰(zhàn)略,，在更高層面上參與國內(nèi)外競爭，搶占技術,、產(chǎn)業(yè)發(fā)展制高點的戰(zhàn)略需要,。自IC國家科技重大專項設立以來，經(jīng)沈陽市組織推動,，共有6家企業(yè)承擔了14項02科技重大專項課題,，累計獲得國家資金支持6.95億元。其中,，8項到期課題全部順利完成專項辦組織的驗收,。

拓荊公司申報的2016年項目“1x nm 3D NAND PECVD研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”即將獲得立項。重大專項的順利實施,，提升了沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)在國家戰(zhàn)略版圖中的地位,。國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金完成對拓荊科技的增資擴股，2.7億元投資全部到位,。

市科技局相關負責人介紹,，沈陽市以重大專項實施為引領,，充分發(fā)揮IC產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的行業(yè)紐帶作用，實現(xiàn)了關鍵技術突破和重點產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化,。截至目前,，沈陽市IC裝備產(chǎn)業(yè)形成了“一項控制系統(tǒng)技術(集成電路生產(chǎn)線智能調(diào)度與質(zhì)量優(yōu)化控制技術)、四類重要整機裝備(PECVD薄膜設備,、勻膠顯影設備,、劃片機、刻蝕機),、一批關鍵單元部件(潔凈機械手,、羅茨干泵、真空氣動閘板閥,、SMIF系統(tǒng)及晶片傳輸設備等21種單元部件和子系統(tǒng))和一個精密零部件支撐平臺(IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺)”的配套體系和批量生產(chǎn)能力,。在關鍵整機方面，擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的首臺國產(chǎn)12英寸PECVD設備完成了在中芯國際的在線測試,，各項指標達到相關要求,，實現(xiàn)了我國在IC裝備國產(chǎn)化方面的重大突破;自主研發(fā)、填補國內(nèi)空白的12英寸TRACK在國內(nèi)著名芯片封裝企業(yè)——江陰長電正式投入使用;自主研發(fā)的IC裝備控制系統(tǒng)開發(fā)平臺已在國產(chǎn)PECVD,、TRACK整機裝備上得到驗證;在關鍵零部件方面,，“干泵與系列真空閥門產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目完成了全部8種產(chǎn)品的生產(chǎn)，110臺套得以應用,，申請專利58項,，授權(quán)33項，頒布實施行業(yè)標準1項;12寸凸點封裝涂膠,、噴膠,、顯影設備成為江陰長電生產(chǎn)線上的主力機臺;完成潔凈、真空和光刻機傳輸機械手樣機研制工作,，銷售產(chǎn)品65臺(套);“IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”通過了全球最大的集成電路設備商美國應用材料公司的評審,，成為正式供應商。